もう1つは、熱分解法、乾燥法または燃焼法としても知られる化学蒸気堆積（CAV）法です。その原材料は、一般に四塩化シリコン、酸素（または空気）、および高温で反応する水素です。
The reaction equation is: SiCl4+2H2+O2 - >sio 2+4 hcl。空気と水素はそれぞれ、合成加水分解炉に送られる前に、それぞれ加圧、分離、冷却および脱水、シリカゲルの乾燥、粉塵の除去、ろ過を受けます。四塩化シリコンの原料が蒸留カラムに送られた後、蒸留のために蒸留カラムに送られた後、蒸発器で加熱されて蒸発し、その後、キャリアとして乾燥したろ過された空気を備えた合成加水分解炉に送られます。四塩化シリコンは、高温（炎温度1000〜1800度）で蒸発し、その後、特定の量の水素と酸素（または空気）で約1800度でガス相加水分解を受けます。この時点で、生成されたガス相シリカ粒子は非常に細かく、ガスを備えたエアロゾルを形成します。
したがって、それらは最初にアグリゲーター内のより大きな粒子に集約され、次にサイクロン分離器によって収集され、除acidification炉に送られます。気相シリカは、pH値が4〜6になるまで窒素含有空気で洗浄されます。これは完成品です。